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Identificação e Compensação de Erro de Fase de Demodulação para Giroscópios MEMS em Função da Temperatura

2026-05-09

Identificação de erros de fase de alta precisão para giroscópios MEMS

Os giroscópios MEMS são sensores de velocidade angular chave na navegação inercial, valorizados por seu baixo custo, pequeno tamanho e baixo consumo de energia.com motor eletrostático e sensores capacitivosNo entanto, o seu desempenho é degradado por erros como a divisão de frequência, acoplamento de rigidez,e especialmente o erro de fase de demodulação induzido pela temperatura, o que agrava a produção de taxa zero (ZRO).

Uma equipe da Universidade de Beihang, da Universidade de Zhejiang e da Universidade de Ciência e Tecnologia de Nanjing propôs um método de identificação de erros de fase de alta precisão que não requer instrumentos adicionais.Aplicando forças eletrostáticas aos eletrodos de correção de quadratura, o erro de fase de demodulação pode ser identificado em toda a gama de temperaturas.

O método, baseado na taxa angular equivalente induzida pela tensão por quadratura (QIR), foi comparado com a abordagem da taxa equivalente induzida por Coriolis (CIR) usando quatro giroscópios de quatro massas (QMGs).Os testes em diferentes temperaturas mostraram que a compensação QIR produziu menor ZRO e melhor repetibilidade.

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